使用典型零件檢查機器精度，使用標準件檢查機器是非常好的，但是相對來說比較麻煩，只能是一段時間做一次。比較方便的辦法是用一個典型零件，編好自動測量程序后，在機器精度校驗好的情況下進行多次測量，將結果按照統計規律計算后得出一個合理的值及公差范圍記錄下來。操作員可以經常檢查這個零件以確定機器的精度情況。

    維護二手三次元測量機的精度，測量環境、設備維護方面。選購時盡可能選擇熱膨脹系數小的材料所制造的設備，例如大理石，保證測量室溫度，盡可能保持在20℃±2℃。測量室里面盡可能的隔離震動，在測量時減少人員來回走動。每日清理導軌，保證導軌上不存留灰塵，影響精度。經常對設備的傳動等高精度的部分進行力所能及的維護。

    在測量過程中減少更換測頭、加長桿等操作。對操作的要求，盡可能使用自動測量，以消除人員在測量中產生的誤差。盡可能使測量速度均勻一致。定期檢測：定期邀請廠家對設備進行檢測校正，一般來要求一年一次。對產品的要求，產品在進行測量之前要進行恒溫處理，恒溫之后要求產品表面進行除塵除油處理，之后再進行測量。產品固定選擇合適的工具和方法，不要產生形變，可以利用除了或者柔性夾具外，還可使用磁鐵、雙面膠、橡皮泥等多種材料輔助固定。對測頭的要求，選擇大小適合的測頭，在滿足測量的前提下，盡可能選擇直徑大的測球，這樣可以一定程度的消除表面粗糙度帶來的影響。